周博和姜明尚站在無(wú)塵車間的觀察窗前,注視一塊高純度硅錠被送入切割臺(tái)上。
硅片廠生產(chǎn)線還沒有投產(chǎn),眼前的硅錠是從滬江運(yùn)送過(guò)來(lái),用于試生產(chǎn)的,
隨著巨大的金剛石切割刀緩緩落下,硅錠被切成一片片薄如蟬翼的晶圓。
這些晶圓將被送往下一個(gè)車間,進(jìn)行打磨和拋光。
接下來(lái)就是光刻工序,也是整個(gè)制造過(guò)程中最核心的環(huán)節(jié)。
姜明尚皺眉道:“前幾道工序都沒問(wèn)題,但光刻車間的良品率始終上不去。
我研究了幾天,始終沒找到問(wèn)題所在?!?br/>
周博笑道:“萬(wàn)事開頭難,GK-1是第一臺(tái)光刻機(jī),有問(wèn)題很正常,沒問(wèn)題才奇怪。”
兩人一邊說(shuō)著,一邊來(lái)到光刻車間。
車間中央橫置著一臺(tái)龐然大物——GK-1干式光刻機(jī),幾名技術(shù)人員正圍在操作臺(tái)前。
“怎么回事,又是圖案粘連!”一名技術(shù)人員苦惱道。
“會(huì)不會(huì)是光刻膠有問(wèn)題?”
“不應(yīng)該,都是一樣的調(diào)配流程,在滬江好用,到了粵州就出問(wèn)題?
沒道理呀!”
“是呀,真特么見鬼了!”
“原來(lái)的流水線不是挺好嗎,一做成整機(jī)就出問(wèn)題,自找麻煩!”有人抱怨道。
“整機(jī)在滬江測(cè)試過(guò),也沒問(wèn)題呀!”
“到底怎么回事呢?”
眾人議論紛紛,看到周博和姜明尚走過(guò)來(lái),立刻向二人打招呼。
“周總工,姜總工!”
都是電子廠的老人,還是習(xí)慣用以前的稱呼。